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首頁產品介紹研磨、清洗自動化設備Wafer Ring鐵圈清洗機  
 
 
Wafer Ring鐵圈清洗機 < 10017 >
  Wafer Ring Cleaning Machine < 10017 >
     
 
   
鐵圈進料機構
Wafer ring loading device
清洗區
Cleaning area
置中拍板機構
Centering device
收料堆疊
Stack unloading
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規格列印  Standard Print
Wafer Ring鐵圈清洗機
設備功能
Equipment Function
清除Wafer Ring移除膠膜後所沾黏之殘膠.
Remove the residues which left after removing tapes on wafer rings.
生產流程
Production Procedures
進料區(入料/放料) → 緩衝區 → 除膠區(浸泡/噴洗) → 水洗區(三道水洗) → 吹乾區 → 收料區

Loading → Buffer area → Removing residues(Dipping/spray) → Rinsing(three zones) → Drying → Unloading
     
 
設備規格
Equipment Specifications
內 容
Content
數量
Q'ty
備 註
Note
Wafer Ring除膠機
Wafer Ring Cleaning Machine
(Model:10017)
1 set For 8"~12" Wafer Ring
不鏽鋼骨架
-抗靜電透明PVC遮板
-鋁擠型外罩
-電控箱

Stainless Steel Frame
-Antistatic PVC board
-Aluminum profile cover
-Electric control box

1 set
WAFER RING 進料堆疊區
-自動分料系統
-可調式支撐座(8”,12”)
-頂昇機構
-進料移載機構

WAFER RING Loading Stack Area
-Automatic separation system
-Adjustable supporter(8",12")
-Lifting mechanism
-Pick-and-place system for loading

1 set 可堆疊100ea

100ea/time available
Index機構
-400W伺服馬達驅動
-推料機構(1組夾爪式,1組推桿式)
-卡料檢知

Index Mechanism
-400W servo motor
-Pushing device(1 set of gripper
 and 1 set of push rod)
-Material stuck detecting

1 set
浸泡槽
-藥水循環泵,循環過濾系統
-滾輪組
-傳動系統
-溢流槽
-排氣管(∮100mm)
-加熱,溫控系統(8KW)

Dipping tank
-Chemical fluid circulation
 pump and filtering system
-Roller modules
-Transmission system
-Overflow tank
-Air exhausting pipe(∮100mm)
-Heater, temperature control
 system(8KW)

1 set
RINSE清洗區
-上下噴嘴清洗系統
-循環過濾水槽,循環泵
-循環過濾系統
-滾輪組
-傳動系統
-回收再利用,管路系統

Rinsing area
-Spray nozzles cleaning system
-Cycle filter tank, circulation pump
-Cycle filter system
-Roller modules
-Transmission system
-Recycling and reuse; pipe system

3 set
風刀區
-氣壓風刀組
-高壓鼓風機(2HP)

Air knife area
-Pneumatic air knives
-High pressure blower(2HP)

1 set
WAFER RING收料機構
-滿料檢知

WAFER RING Unload Mechanism
-Full material detecting

1 set 8”,12”;可堆疊100ea

8",12" Allow 100ea stacking
PLC+ Touch Panel 1 set 10.4” touch panel
設備外觀尺寸
Dimension
- 4900(L)X1230(W)X1970(H)
設備淨重
Net weight
- 1100kg
適用WAFER RING種類
Applicable wafer rings
- 8”,12”SUS410~
進出料方向
The operation direction
- 左進右出
From the left to the right
產能
Production capacity
- 6 EA/MIN.
藥水種類
Types of chemical fluid
- 沛鑫編號:PSWR-A-011
Passion no.PSWR-A-011
藥液槽容量
Volume of chemical fluid tank
- 140~150L
廠務需求
Facility Requirements
電力需求
Power Supply
220V, 60Hz, 1∮, 50 A
CITY WATER需求
City water supply
2~3 Kg/c㎡,20L/min.
氣壓需求
Air supply
4~7Kg/c㎡,150L/min.
     
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